Технические и функциональные характеристики, качество оборудования
Общие требоавания:
Линии встроены в пылезащитные шкафы, модули монтируются на индивидуальных каркасах со встроенными блоками управления.
Каркасы оборудованы роликовыми опорами с фиксаторами.
Каркас представляет собой сварную конструкцию из стальных прямоугольных труб с защитным полимерным покрытием, на котором монтируется столешница из полипропилена, с ваннами и исполнительными устройствами.
Конструкция и исполнение линий технических процессов отвечает требованиям к оборудованию , установленному в помещении с классом чистоты 8 ИСО ГОСТ Р ИСО 14644-4-2002 «Требуемые классы чистоты. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды».

Ванны в модулях устанавливаются в указанной последовательности на линии.
Ванны, кроме глухих, оборудованы сливными патрубками с вентилями.
Ванны улавливания и ванны промывки оборудованы заливными патрубками, ванны промывки оборудованы сливом из основной ванны с вентилем, из кармана – без вентиля.
Устройства слива растворов и промывки вод расположены под столешницей модулей над поддоном и соединяться общей сливной трубой с установкой регенерации, либо с канализационным трубопроводом, кроме сливов органических растворителей. Органические растворители сливаются в емкости. Растворы из глухих ванн удаляются либо насосом в соответствующий трубопровод, либо путем извлечения ванны и сливом в емкость (легкосъемные ванны).
Залив и слив (с помощью вентиля) технологических растворов в (из) ванн производиться вручную. Глухие ванны легкосъемные.
Деионизованная вода в промывные ванны подается из накопительной емкости насосом, расположенным непосредственно на участке водоподготовки деионизованной воды. Управление насосом осуществляется с мест потребления деионизованной воды.
Ванны промывки в проточной воде оснащены системой регулировки подачи деионизованной воды из накопительной емкости.
Ванны сушки оборудованы регистрами с форсунками, нагрев воздуха и азота производится калориферами. Датчик установлен в протоке подогреваемой среды. Калорифер изготовлен из алюминиевого сплава, нагрев осуществляется ИК лампами.
Система подогрева обеспечивает постоянный и равномерный подогрев рабочей среды.
Управление осуществляется с места потребления при помощи магнитного клапана.
Должно быть обеспечено соответствие подаваемого воздуха требованиям ГОСТ 18463.
Нагревательные элементы ванн не вносят загрязнений в технологические среды, ванны с нагревом технологической среды укомплектованы датчиками для непрерывного измерения температуры рабочей среды.
Контроль и регулировка температуры осуществляется микропроцессорными устройствами.
Точность поддержания температуры растворов в регулируемом диапазоне должна быть +\- 10С.
Контроль времени осуществляется микропроцессорными реле времени. Реле должно индицировать время окончания процесса и позволять задавать число циклов обработки от 1 до 5, время обработки и обеспечивать подачу сигнала об окончании процесса. Время нагрева реагентов от температуры 200С до 1000С 60 минут.
Ванна никелирования , ванны золочения , ванна палладирования оборудованы крышками из фторопласта.
Ванны промывки оборудованы крышками из пролипропилена.

Кассеты для подложек выполнены из фторопласта.
Для линии предварительной химической подготовки подложек перед напыление, линии химической подготовки подложек перед напылением резистивных и проводниковых слоев, линии подготовки поверхности меди перед нанесением фоторезиста и перед золочением конструктивно предусмотрено крепление поликоровых подложек толщиной 1 мм в вертикальной плоскости размером (мм):
24х15 в количестве 80 штук;
30х24 в количестве 30 штук;
20х48 в количестве 20 штук;
48х30 в количестве 30 штук;
60х48 в количестве 20 штук;
Доступ на линейный размер 0,1 мм.
Подложки крепятся точечным касанием (след не более 0,5х0,5 мм).
Количество кассет по типоразмерам:
24х15 – 10 штук;
30х24 – 10 штук;
20х48 – 10 штук;
48х30 – 10 штук;
60х48 – 10 штук;
Для линии травления резистивных слоев и линии травления проводниковых слоев конструктивно предусмотрено приспособление в виде корзины для расположения подложек в горизонтальной плоскости, размером:
24х15 в количестве 8 штук;
30х24 в количестве 3 штук;
20х48 в количестве 4 штук;
48х30 в количестве 4 штук;
Количество кассет по типоразмерам:
24х15 – 5 штук;
30х24 – 5 штук;
20х48 – 5 штук;
48х30 – 5 штук;
60х48 – 5 штук;
Под ваннами расположены полипропиленовые поддоны для сбора растворов при аварийной утечке.
Линии оснащены открывающимися прозрачными экранами по фронту и прозрачными стационарными боковыми экранами. Верхнее фронтальное поликарбонатное стекло крепится к каркасу линии петлями, нижние дополнительные фронтальные поликарбонатные стекла – съемные.
В задней полипропиленовой стенке линий расположены вентиляционные решетки и фланцы для подключения вытяжной вентиляции.
Линии оснащены системой автоматизированного контроля за параметрами технологического процесса (температура, время).

Производительность линий 300 подложек в смену.
Мощность линий 10 кВт.