Установка экспонирования СТН (источник света – УФ светодиоды) предназначена для переноса изображения с фотошаблона на образец путем экспонирования фоторезистивного слоя. Установка необходима для проведения процесса фотолитографии.

Установка ST2263 предназначена для измерения удельного (поверхностного) сопротивления кремниевых пластин, проводящих тонких пленок, проводящих пластиков и др. Установка позволяет проводить измерения используя линейный четырехконтактный зонд или использовать квадратный четырехпозиционный зонд по методу Ван дер Пау.

Центрифуга для нанесения тонких пленок и фоторезистора с инфракрасным нагревателем СТН 3.80.7.НИК.

Баня масляная HB eco, 4 л, до 99 °С

Высокопроизводительные диспергаторы T 25 easy clean digital с электронной регулировкой скорости в диапазоне 3000 - 25000 об/мин для рабочих объемов 1 - 2000 мл (H2O).