 |
Установка экспонирования СТН
Установка экспонирования СТН (источник света – УФ светодиоды) предназначена для переноса изображения с фотошаблона на образец путем экспонирования фоторезистивного слоя. Установка необходима для проведения процесса фотолитографии.
Артикул:
Поставщик:
ООО НПК "Спецтехнаука"Описание
Технические характеристики
Длина волны источника света: 365 нм (источник света — УФ светодиоды).
Интенсивность оптического излучения источника света: 20 — 130 мВт/см2.
Время экспонирования установки: 0.1 — 9999 сек.
Дискретность уставки времени: 0.1 сек.
Максимальный диаметр образца для экспонирования: 76 мм (3 дюйма).
Стол для экспонирования может быть увеличен (опция).
Размер минимального элемента изображения на образце при экспонировании не более 1 мкм;
Суммарная масса установки не превышает 20 кг.
Комплектация
Лабораторный блок питания QJ5003T – 1 шт.
Блок управления и измерения – 1 шт.
Система позиционирования – 1 шт.
Источник УФ излучения – 1 шт.
Руководство пользователя на русском языке — 1 шт.
Паспорт оборудования на русском языке — 1 шт.
Длина волны источника света: 365 нм (источник света — УФ светодиоды).
Интенсивность оптического излучения источника света: 20 — 130 мВт/см2.
Время экспонирования установки: 0.1 — 9999 сек.
Дискретность уставки времени: 0.1 сек.
Максимальный диаметр образца для экспонирования: 76 мм (3 дюйма).
Стол для экспонирования может быть увеличен (опция).
Размер минимального элемента изображения на образце при экспонировании не более 1 мкм;
Суммарная масса установки не превышает 20 кг.
Комплектация
Лабораторный блок питания QJ5003T – 1 шт.
Блок управления и измерения – 1 шт.
Система позиционирования – 1 шт.
Источник УФ излучения – 1 шт.
Руководство пользователя на русском языке — 1 шт.
Паспорт оборудования на русском языке — 1 шт.