Описание

Установка ФК-220 предназначена для создания равномерных промежутков между кристаллами разрезанной полупроводниковой пластины путем равномерной растяжки пленочного носителя во всех направлениях. Внедрение данной операции позволяет получить следующие преимущества:

Повышение эффективности отмывки пластин/подложек после дисковой резки
Упрощение процесса снятия кристаллов/элементов с пленочного носителя
Отсутствие сколов на краях кристаллов, образующихся при их съеме с пленочного носителя, т.к. соседние кристаллы не соприкасаются друг с другом
Растяжение пленки на установке ФК-220 производится следующим образом: внутреннее кольцо пялец устанавливается на подогреваемый столик, внешнее кольцо пялец устанавливается в крышку, разрезанная пластина, закрепленная на рамке с пленочным носителем, устанавливается между столиком и крышкой. По команде оператора столик начинает подниматься вверх, растягивая пленку и смыкая внутреннее и внешнее кольца пялец. Таким образом, растянутая пленка с кристаллами оказывается зафиксированной в пяльцах.
Установка производит нагрев пленки для повышения ее эластичности при растяжении. К другим настраиваемым параметрам процесса относятся длина хода столика, влияющая на величину растяжения пленки, а также скорость хода.

Технические характеристики:
Диаметр обрабатываемых пластин, не более, мм 200
Ход рабочего стола, мм 25-75
Температура нагрева рабочего стола, не более, оС 70
Напряжение питания, В 220
с частотой тока, Гц 50
Потребляемая мощность, не более, Вт 150
Габаритные размеры, не более, мм 540х380х180
Вес, не более, кг 50