STE35 представляет собой современную технологическую платформу для прецизионного выращивания эпитаксиальных слоев на подложках диаметром до 100 мм, а также трех подложках диаметром 2” в одном процессе. Областью применения установки МЛЭ STE35 являются фундаментальные и прикладные научные исследования, опытно-конструкторские работы и мелкосерийное экспериментальное производство эпитаксиальных структур в режиме “lab to fab” в системах материалов InAlGaAsSb или InGaAlN в режиме РА-МВЕ. Система STE35 создана на основе более чем 25-летнего опыта наших специалистов в области разработки и производства молекулярно-лучевой эпитаксии.

Установка STE EB71 представляет собой полностью автоматизированную станцию электронно-лучевого напыления высококачественных тонкоплёночных композиций в сверхвысоком вакууме. Система разрабатывалась в идеологии “lab to fab” и ориентирована как на интенсивные исследования и разработки, так и на мелкосерийный выпуск продукции в составе пилотной производственно-технологической линии. В конструкцию также заложена возможность комплексирования и встраивания в состав роботизованных вакуумно-технологических кластерных систем. Максимальное количество напыляемых пластин в одном процессе 3х3” или 6х2”, которые устанавливаются на держателе со сферическим профилем, учитывающим особенности процесса “lift-off”.

Новая универсальная система для осаждения многокомпонентных покрытий в вакууме методами магнетронного и резистивного испарения на групповую партию пластин Система позволяет проводить процессы напыления многокомпонентных покрытий (металлов, резистивных слоев, пленок ITO, диэлектрических и проводящих пленок в одном цикле и др.) при температуре на подложке до 700°С. Установка предназначена как для проведения активных исследований, так и для решения производственных задач. Максимальное количество напыляемых пластин в одном процессе: 150мм – 5 шт., до 30 пластин 60х48 мм. Мишени диаметром 8’’ обеспечивают однородность ±2% на диаметре напыления 100 мм,а магнитное крепление позволяет легко их заменять. Оптимизированный высоковакуумный реактор из нержавеющей стали, состоит из неподвижного блока источников и подъемной верхней крышки. Обновленная эргономичная конструкция реактора комплектуется механизмом подъема для удобного проведения регламентных работ с блоком испарителей.

Установка для проведения процессов быстрой температурной обработки полупроводниковых пластин в инертной среде Установка STE RTA100 ориентирована как на интенсивные исследования и разработки, так и на мелкосерийный выпуск продукции в составе пилотной производственно-технологической линии. Максимальный диаметр обрабатываемой пластины составляет 100 мм. Образец загружается в камеру вручную через боковой фланец быстрого доступа и устанавливается на тепловыравнивающий столик из пиролитического графита, под которым находится нагреватель на основе системы линейных галогеновых ламп. Конструкция установки позволяет обеспечить высокую однородность нагрева полупроводниковой пластины, имеющей неоднородное поглощение инфракрасного облучения по поверхности (например, со сформированной топологией).

Установка для проведения процессов быстрой температурной обработки полупроводниковых пластин в вакууме, управляемой газовой среде, в том числе восстановительной или окислительной атмосфере Специальная конструкция камеры, выполненной из алюминия, позволяет проводить процессы температурной обработки при экстремально высоких температурах (до 1300°С) в сочетании с длительными временем отжига (до 60 мин). Установка ориентирована как на интенсивные исследования и разработки, так и на мелкосерийный выпуск продукции в составе пилотной производственно-технологической линии. Максимальный диаметр обрабатываемой пластины составляет 150 мм.

Линия Иннтех 100 ПРОФИ (до 100 куб. м газобетонных блоков в сутки)

Технологическая линия "Иннтех - Мастер-50" до 50 куб. м газобетонных блоков в сутки

Автоматизированный завод "Иннтех - Профи +" производительность от 200 м3 в сутки и более

Оборудование для сортировки различных сыпучих сельскохозяйственных культур по оптическим признакам таким как: цвет, текстура, размер, форма и их комбинация.

Оборудование для сортировки различных сыпучих сельскохозяйственных культур по оптическим признакам таким как: цвет, текстура, размер, форма и их комбинация.