Обработку изделий проводят в высокотемпературной плазме, содержащей кислород. При такой обработки ионы кислорода проникают в поверхностный слой металла. Качество оксидных пленок, полученных этим методом, не уступает оксидным пленкам получаемым традиционным термическим или химическим оксидированием, а по некоторым показателям превосходит их. Оксидирование можно проводить, и как отдельную процедуру химико-термической обработки, и в качестве дополнительного завершающего этапа после обработки стальных изделий методом ионного азотирования или карбонитрирования. Такая обработка широко применяется и используется для создания более стойкой коррозионной защиты и для придания деталям благородного плотного черного цвета (так называемого воронения или чернения). Преимущество оксидирования в плазме при среднем вакууме дополнительно состоит в том, что поверхность изделия после извлечения из вакуумной камеры идеально чистая, что позволяет произвести дополнительное защитное или декоративное покрытие эмульсией, лаком, красками или маслами с проникновением в поверхностный слой до глубины 5-20 мкм, что обеспечивает наилучшую адгезию к металлу, превосходящую любые другие методы подготовки поверхности.