Синоним: 3MS
CAS №: 993-07-7
Формула: C3H10Si

Внешний вид:
Бесцветный, сжиженный газ, со слабым запахом, стабилен при комнатной температуре и нормальном давлении.

Марка:
Электронная чистота 5N
Применение:
Электронный газ
Применяется при производстве интегральных схем в качестве прекурсора для получения диэлектриков с низкой диэлектрической постоянной (low-k диэлектриков) с помощью CDV-процессов, а так же в качестве прекурсора для остановки травления.
Стабильность:
При повышенной температуре (более 500 о С) разлагается на карбид кремния и водород.