RUS:1,1,2,3,4,4-Гексафтор-1,3-бутадиен
Синоним:Hexafluoro-1,3- butadiene
CAS №:685-63-2
Формула:C4F6

Применение:
Электронный газ
Применяется в процессах плазмохимического травления тонких пленок в производстве
микроэлектроники стандартов 45-25 нм для создания пазов и отверстий.
Обеспечивает возможность травления структур с высоким аспектным отношением,
высокой анизотропией и гладкими вертикальными стенками.
Озонобезопасен (GWP < 0,1).
Свойства:
Гексафтор-1,3-Бутадиен - бесцветный, сжиженный газ, без запаха, хорошо растворим в органических растворителях, мало растворим в воде.
При нормальных условиях стабильный газ, при повышенных температурах реагирует с хлором и бромом.
При повышенных давлениях и температурах способен полимеризоваться с образованием димера и тримера гексафторбутадиена.