Измерительная головка СЗМ с высокоапертурным фронтальным оптическим доступом к поверхности образца адаптирована для совмещения с ультрамикротом и для коррелятивных зондовых и оптических измерений поверхности образца.

Измерительная головка СЗМ SNX01 предназначена для выполнения СЗМ-измерений поверхности образцов после микротомирования и выполнения исследований методом сканирующей зондовой нанотомографии. Она адаптирована для сопряжения со сканирующим XYZ пьезостоликом устанавливаемым на ультрамикротом для сканирования образцов.

Трехкоординатный XYZ сканирующий пьезостолик для сканирования образцом с оптическими датчиками позиционирования и системой обратной связи, адаптированный к совмещению с ультрамикротом. XYZ пьезостолик, устанавливается на подвижную консоль ультрамикротома и предназначен для сканирования образцом при выполнении СЗМ и оптических измерений после среза образца ультрамикротомом. XYZ пьезостолик адаптирован для совмещения с измерительной головкой СЗМ SNX01.

Основные характеристики:
Измерительная головка оснащена оптической системой (лазер-фотодиод) детектирования отклонения зондовых датчиков (кантилеверов) с возможностью мануального наведения луча лазера на кантилевер и отраженного от кантилевера луча в центр 4-секционного фотодиода.
Измерительная головка поддерживает несколько типов съемных держателей зондов: для стандартных кантилеверов, для зондов туннельной микроскопии, для зондов типа tuning fork с вертикальным или горизонтальным расположением и для других типов.
Режимы СЗМ измерений – топография (моды: контактная, тэппинг); фазовое изображение.
Разрешение зондовых измерений поверхности: не менее 10 нм. Шум по оси Z (RMS): не более 0.05 нм.
Измерительная головка оснащена системой автоматического подвода зонда к образцу, управляемой шаговым двигателем, со следующими параметрами:
рабочее расстояние – не менее 5 мм,
точность шага в направлении образца < 0.1 мкм,
точность возврата в плоскости сканирования (XY) – < 1 мкм.
плоскопараллельный подвод зонда к образцу
Диапазон сканирования пьезостолика 50x50x5.0 мкм (при +20 °С);
Пьезостолик оснащен оптическими датчиками позиционирования (с точностью не менее 2 нм) и системой обратной связи по трем координантам;
Резонансные частоты пьезостолика по координатам XY – не менее 5 кГц.
Резонансная частота пьезостолика по координате Z – не менее 50 кГц.
Минимальный шаг сканирования пьезостолика: 0.1 нм.
Максимальное отклонение пьезостолика от плоскости сканирования < 0.1°;
Коррелятивная оптическая микроскопия:
СЗМ SNX01 дает возможность осуществлять высокоапертурный фронтальный оптический доступ к поверхности образца.

При использовании оптических объективов 50× и 100× с рабочим отрезком от 13 мм числовая оптическая апертура для наблюдения образца составляет не менее 0.5. Возможность коррелятивных оптических исследований образцов с использованием таких высокоразрешающих и высокоапертурных объективов позволяет одновременно выполнять СЗМ и микроспектроскопические измерения поверхности в режиме послойной нанотомографии. Данная характеристика головки уникальна и не имеет прямых аналогов.