Описание

Благодаря высокой скорости сбора и обработки данных, а также простоте использования приборы DHM® позволяют проводить экспресс-проверки, автоматизированный контроль качества на линии производства и различные фундаментальные исследования.

Конфигурация: 1 лазерный источник
Режимы измерений: по 1 длине волны
Точность: 0.15 нм
Вертикальное разрешение: 0.3 нм
Воспроизводимость: 0.01 нм
Предел измерения (без сканирования): 200 мкм
Максимальная высота ступенек: 333 нм
DHM R2100
Конфигурация: 2 лазерных источника
Режимы измерений: по 1 или 2 длинам волн
Точность: 0.15 нм
Вертикальное разрешение: 0.3 нм
Воспроизводимость: 0.01 нм
Предел измерения (без сканирования): 200 мкм
Максимальная высота ступенек: 2.1 мкм
DHM R2200
Конфигурация: 3 лазерных источника
Режимы измерений: по 1 или 2 длинам волн
Точность: 0.15 нм
Вертикальное разрешение: 0.3 нм
Воспроизводимость: 0.01 нм
Предел измерения (без сканирования): 200 мкм
Максимальная высота ступенек: 12 мкм