В основу работы установки положен процесс ЭИЛ, заключающийся в переносе материала электрода на поверхность обрабатываемой детали. Основными перемещениями шпинделя с ЭИ установки являются линейные движения по трем координатам X, Y и Z. При установке на стол поворотного стола добавляется дополнительная координата U.

Установка МЭИЛ-14М оснащена встроенным генератором импульсов тока легирования, позволяющим обеспечить различные технологические приемы за счет введения дополнительного энерговыделения внутри периода следования основных импульсов, что отличает ее от большинства конкурентов в мире.

Встроенный генератор импульсов тока легирования позволяет также:

- Создавать пьедесталы в паузах между импульсами;

- Управлять режимами кристаллизации жидкой массы подложки дополнительными искровыми разрядами с заданным законом энерговыделения;

- Комбинировать получение слоя с его выглаживанием (в зависимости от требований к шероховатости).