ТСИФП может быть использован для работы, как с импульсными, так и с непрерывными источниками узкополосного ТГц излучения. ТСИФП состоит из двух полупрозрачных, параллельных друг другу кремниевых зеркал, одно из которых смонтировано на моторизированном линейном трансляторе. Измерение параметров ТГц излучения происходит за счет перемещения подвижного зеркала (сканирования).

ТСИФП может быть использован со следующими источниками:

Гиротронами;
Субмиллиметровыми лазерами с оптической накачкой;
Лампами обратной волны;
Лазерами на свободных электронах;
Источниками ТГц излучения на основе разностной генерации;
Источниками ТГц излучения на основе фотосмешения;
Квантово-каскадными лазерами;
p-Ge лазерами;
Принципиально новыми источниками ТГц излучения.

Тгц сканирующий интерферометр Фабри-Перо может быть применен и для измерения длины волны и интенсивности широкополосных источников ТГц излучения, а также для фильтрации ТГц излучения согласно спектру пропускания интерферометра Фабри-Перо.

В ТСИФП возможно реализовать следующие варианты перемещения зеркала: движение зеркала в заданную позицию, сдвиг зеркала на заданное расстояние, непрерывное движение зеркала, циклическое движение зеркала. Также, есть возможность задавать скорость движения зеркала, интервалы между перемещениями, начальное и конечное положение зеркала.